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光圈、局部光圈与PV、RMS之间的关系与区别

来源：www.pgmajiang2.sbs 发布时间：2023年06月15日

面型是光学制造中的重要精度指标之一，简单来说是表面不平整度；这就好像铺水泥路面，铺的好的表面很平整，没有坑坑洼洼，车子开过去好的路面很平稳、不好的坑坑洼洼的，就颠簸得厉害！面型的两个参数PV和RMS值，PV是表示路面的最高处与最低处的差值，RMS值是全部路面高低的平均值；因此PV值能够做到0.1个波长，RMS值至少在0.02左右，一般来说，PV值是RMS值的6-8倍。目前很多商家说出所谓的1/8波长或1/10波长实际上多指RMS值，其PV值往往达不到1个波长，而良好的天文观测器材应该具备PV=1/2波长才算是精度比较好的。
在实际中，光学图纸对光学零件的要求用光圈数（N）和局部光圈表示，而在加工出来后用zygo干涉仪检测却是pv和rms值,用ZYGO可以测出光圈，局部光圈，PV。RMS。不同的设置测出来的是不同的。并不是出来的都是PV。光圈和PV的关系是：光圈好的。PV肯定好。PV好的。光圈不一定好。PV是光圈的波峰和波谷的相对值。不考虑局部误差的影响。说光圈时一般要考虑局部光圈误差的影响。
用ZYGO仪器测量光学零件的光圈（N）,读的不是很准，要读的话就是软件上面surface map 中的power值，不过要把单位转化成光学单位。至于局部光圈读profile map中的pv直，很准确，把surface map 中的line放在最高点和最低点位置，看高或低所占的pv的比例就行.
图纸中的光圈数是加工元件与样板的偏差而产生的干涉条纹数；而干涉仪测量时，参考球半径（类似于样板半径）可变，条纹多少是可以变化的，测量结果（PV和RMS值）是加工元件与最接近参考球的偏差.
一道圈是面型偏差有二分之一个波长大小,546.1nm是标准波长,PV是面型偏差的最大值,除以546.1就是几分之几波长,和二分之一个波长比较,有几个二分之一波长就有几到圈.
总之，光圏和PV、RMS是两种不同的评价标准。局部光圈如果作为PV来评价的话，是比对的PV值还要高。